Технологија гасовода високе чистоће је важан део система снабдевања високим чистоћима, који је кључна технологија за испоруку потребног гаса високе чистоће до тачке употребе и и даље одржава квалификовани квалитет; Технологија цевовода високе чистоће укључује правилан дизајн система, избор фитинга и прибора, грађевинарство и уградње и тестирање. Последњих година све строге захтеве о чистоћи и нечистоћу гасова високих чистоћих гасова у производњи микроелектронских производа заступљених великим интегрисаним круговима су постали цевоводни технологију високо-чистоћих гасова и наглашених. Следе кратак преглед гасова на високом чистоћима цевовода из селекције материјалаof Изградња, као и прихватање и свакодневно управљање.
Врсте уобичајених гасова
Класификација заједничких гасова у индустрији електронике:
Уобичајени гасови(Расути гас): водоник (х2), азот (н2), кисеоник (о2), аргон (а2) итд.
Специјални гасовису сих4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,ХЦл,CF4 ,NH3,Поцл3, Сих2цл2 Сихцл3,NH3, БЦЛ3 ,Сит4 ,Цлф3 ,Цо,C2F6, Н2о,F2,Хф,ХБР СФ6...... итд.
Врсте посебних гасова се углавном могу класификовати као корозивнигас, токсичногас, запаљивгас, запаљивгас, инертнигас, итд. Обично коришћени полуводички гасови су углавном класификовани на следећи начин.
(и) корозивни / токсичнигас: ХЦл, бф3, ВФ6, ХБР, СИХ2Cl2, НХ3, ПХ3, Цл2, БЦЛ3... итд.
(ii) Запаљивостгас: Х2, ЦХ4, Сих4, ПХ3, Асх3, сих2Cl2, Б2H6, ЦХ2Ф2,Цх3Ф, ЦО ... итд.
(иии) запаљивостгас: О2, Цл2, Н2О, НФ3... итд.
(ив) инертгас: Н2, ЦФ4, Ц2F6, Ц4F8,Сф6, ЦО2, Не, кр, он ... итд.
Многи полуводички гасови су штетни за људско тело. Конкретно, неки од ових гасова, као што је СИХ4 спонтано сагоревање, све док цурење ће се насилно реаговати са кисеоником у ваздуху и почети да гори; и пепео3Високо токсично, свако благо цурење може проузроковати ризик од људског живота, то је због ових очигледних опасности, тако да су услови за сигурност система система посебно високи.
Обим наношења гасова
Као важан основни сирови материјал савремене индустрије се широко користе гасни производи, а велики број уобичајених гасова или специјалних гасова се користи у металургији, челичној, нафтини, хемијској индустрији, машинама, електроници, стаклу, керамици, грађевинским материјалима, грађевинским материјалима, преради, медицини и медицинским секторима. Примена гаса има важан утицај на високу технологију ових поља посебно, а то је неопходан сировински гас или процесни гас. Само уз потребе и промоција различитих нових индустријских сектора и модерне науке и технологије, производи гасних индустрија могу развити скокове и границе у погледу разноликости, квалитета и количине.
Примена гаса у микроелектроници и полуводичкој индустрији
Употреба гаса увек је одиграла важну улогу у поступку полуводича, посебно се полуводички процес широко користи у разним индустријама, од традиционалних УЛСИ-ја, ТФТ-ЛЦД-а на тренутне микро-механичке (МЕХСИЧКЕ (МЕХСЕЛИЧКЕ (МЕМАЛИЧКЕ (МЕМАЛИЧКЕ (МЕМАЛИЧКЕ (МЕМАЛИЧКЕ (МЕМАЛИЧКЕ (МЕМС) индустрије, а све то користи такозвани поступак полуводича као производ производње производа. Чистоћа гаса има пресудан утицај на обављање компоненти и приноса производа, а сигурност снабдевања гасом односи се на здравље кадровских и сигурност постројења.
Значај цевовода високе чистоће у транспорту гаса са високим чистоћима
У процесу топљења од нехрђајућег челика и материјала, око 200 г гаса може се апсорбирати по тони. Након прераде нехрђајућег челика, не само његова површина лепљива са разним контаминантима, већ и у својој металној решетки такође је апсорбује одређену количину гаса. Када се проток протока протока кроз цевовод, метал апсорбује овај део гаса поново ће ући у проток ваздуха, загађујући чисти гас. Када је проток ваздуха у цеви прекинута проток, цев адсорбоби гас под притиском и када проток ваздуха престаје да пролази, гас адсорбује цеви формира пад притиска и решени гас такође улази у чисте гас у цеви у цеви. Истовремено, адсорпција и резолуција се понављају, тако да метал на унутрашњој површини цеви такође производи одређену количину праха, а ове металне честице прашине такође загађују чисти гас унутар цеви. Ова карактеристика за цев је од суштинског значаја за осигурање чистоће транспортног гаса, који не захтева не само веома високу глаткоћу унутрашње површине цеви, већ и висок отпорност на хабање.
Када се користи гас са јаким корозивним перформансама, цеви од нехрђајућег челика отпорне на корозију морају се користити за цевоводе. У супротном, цев ће произвести корозијске тачке на унутрашњој површини због корозије, а у озбиљним случајевима ће бити велика површина металне скидање или чак перфорације, која ће контаминирати чисти гас који ће се дистрибуирати.
Повезивање високих чистоћих и високих цевовода за пренос гаса и дистрибуције великих протока.
У принципу, сви су заварени, а коришћене цеви су потребне да немају промене у организацији када се примењује заваривање. Материјали са превисоким садржајем угљеника подлежу пропуштености ваздуха заварених делова приликом заваривања, што чини узајамну продирање гасова унутар и изван цеви и уништава чистоћу, сувоћу и чистоћу преношеног гаса, што резултира губитком свих наших напора.
Укратко, за гас високе чистоће и специјално гасовод за пренос гаса, потребно је користити специјално лечење цеви од нехрђајућег челика високе чистоће, да бисте направили систем цевовода високе чистоће (укључујући цеви, фитинге, вентиле, ВМБ, ВМП) у дистрибуцији гаса високе чистоће.
Општи концепт чисте технологије за пренос и дистрибутивне цевоводе
Високо чисто и чисто пренос гасног тела са цевоводима значи да постоје одређени захтеви или контроле за три аспекта гаса који се превозе.
Чистоћа гаса: садржај нечистоће Атмосфере у чистоћи ГГАС-у: садржај нечистоће атмосфере у гасу, обично изражено у процентуристи чистоће гаса, као што је 99.9999%, такође изражено и као омјер жељеног атмосфере, ППБ, ППБ, ППТ.
Сувоћа: Количина влаге у празу у гасу или количина која се зове влажност, обично изражена у погледу тачке росе, као што је тачка атмосферског притиска тачка - 70. Ц.
Чистоћа: Број честица контаминаната садржаних у гасу, величини честица уМ, колико честица / м3 да се експресира, за компримовани ваздух, обично изражено и у смислу мг / м3 неизбежних чврстих остатака, који покрива садржај уља.
Класификација величине загађивача: честице загађиваче, углавном се односе на писковање, хабање, корозију генерисане од металних честица, атмосферске честице чађе, као и микроорганизми, фагови и влагу који садрже капљице кондензације итд., Према величини величине њене честице је подељено
а) велике честице - величина честица изнад 5 уМ
б) Честице - пречник материјала између 0,1 ум-5 уМ
ц) Ултра-микро честице - величина честица мања од 0,1 μм.
Да би се побољшала примени ове технологије, да би могао да примећује перцепцију величине и честица и μМ јединица, за референцу је предвиђен скуп одређеног статуса честица
Следе поређење специфичних честица
| Величина имена / честица (μм) | Величина имена / честица (μм) | Име / Величина честица (μм) |
| Вирус 0,003-0,0 | Аеросол 0.03-1 | Аеросолизовани микродроплет 1-12 |
| Нуклеарно гориво 0,01-0,1 | Боја 0,1-6 | Фли Асх 1-200 |
| Царбон Блацк 0.01-0.3 | Млечни прах 0,1-10 | Пестицид 5-10 |
| Смола 0,01-1 | Бактерије 0,3-30 | Цементне прашине 5-100 |
| Цигарете дим 0,01-1 | Пешчана прашина 0,5-5 | Полен 10-15 |
| СИЛИЦОНЕ 0.02-0.1 | Пестицид 0,5-10 | Људска коса 50-120 |
| Кристализована сол 0,03-0,5 | Концентрована сумпорна прашина 1-11 | Морски песак 100-1200 |
Вријеме поште: Јун-14-2022