Технолошка решења за системе испоруке гаса високе чистоће за полупроводничке процесе

Технологија цевовода за гас високе чистоће је важан део система снабдевања гасом високе чистоће, што је кључна технологија за испоруку захтеваног гаса високе чистоће до тачке употребе и даље одржавање квалификованог квалитета;Технологија цевовода за гас високе чистоће укључује исправан дизајн система, избор фитинга и прибора, конструкцију и уградњу и тестирање.Последњих година, све строжији захтеви за чистоћом и садржајем нечистоћа у гасовима високе чистоће у производњи микроелектронских производа представљених великим интегрисаним колима учинили су да се технологија цевовода гасова високе чистоће све више брине и истиче.Следи кратак преглед цевовода за гас високе чистоће на основу избора материјалаof изградњу, као и пријем и свакодневно управљање.

Врсте уобичајених гасова

Класификација уобичајених гасова у електронској индустрији:

Уобичајени гасови（Расути гас）: водоник (Х₂₎, азот (Н₂), кисеоник (О₂), аргон (А₂), итд.

Специјални гасовису СиХ₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,ХЦЛ,CF₄ ,NH_3,ПОЦЛ_3, СИХ2ЦЛ₂ СИХЦЛ3,NH_3,  БЦЛ_{3 ,}СИФ₄ ,ЦЛФ₃ ,ЦО,C₂F_6, Н2О,F_2,ХФ,ХБР СФ₆…… итд.

Врсте специјалних гасова се генерално могу класификовати као корозивнегасни, токсичногасни, запаљивогасни, запаљивгасни, инертангасни, итд. Обично коришћени полупроводнички гасови се генерално класификују на следећи начин.

(и) Корозивно/токсичногасни: ХЦл , БФ₃, ВФ₆, ХБр , СиХ₂Cl₂, НХ₃, ПХ₃, Цл₂, БЦл₃…итд.

(ii) Запаљивостгасни: Х₂, ЦХ₄, СиХ₄, ПХ₃, АсХ3, СиХ₂Cl₂, Б₂H₆, ЦХ2Ф_2,ЦХ₃Ф, ЦО… итд.

(иии) запаљивостгасни: О₂, Цл₂, Н₂О, НФ₃… итд.

(ив) Инертангасни: Н₂, ЦФ₄, Ц₂F₆, Ц₄F_8,СФ₆, ЦО₂, Не, Кр, Хе…итд.

Многи полупроводнички гасови су штетни за људско тело.Конкретно, неки од ових гасова, као што је СиХ₄ спонтано сагоревање, све док цурење бурно реагује са кисеоником у ваздуху и почиње да гори;и АсХ₃високо токсично, свако мало цурење може да изазове ризик по људски живот, управо због ових очигледних опасности, па су захтеви за безбедност дизајна система посебно високи.

Обим примене гасова  

Као важна основна сировина савремене индустрије, гасни производи имају широку примену, а велики број уобичајених гасова или специјалних гасова се користи у металургији, челику, нафтној, хемијској индустрији, машинама, електроници, стаклу, керамици, грађевинском материјалу, грађевинарству. , прехрамбени, медицински и медицински сектор.Примена гаса има значајан утицај на високу технологију посебно ових поља, и представља његову незаменљиву сировину гас или процесни гас.Само уз потребе и промоцију различитих нових индустријских сектора и савремене науке и технологије, производи гасне индустрије могу се развијати великим корацима у погледу разноврсности, квалитета и квантитета.

Примена гаса у микроелектроници и индустрији полупроводника

Употреба гаса је одувек играла важну улогу у процесу полупроводника, посебно полупроводнички процес се широко користио у различитим индустријама, од традиционалне УЛСИ, ТФТ-ЛЦД до тренутне микро-електро-механичке (МЕМС) индустрије, све од који као процес производње производа користе такозвани полупроводнички процес.Чистоћа гаса има одлучујући утицај на перформансе компоненти и приносе производа, а безбедност снабдевања гасом је повезана са здрављем особља и безбедношћу рада постројења.

Значај цевовода високе чистоће у транспорту гаса високе чистоће

У процесу топљења и израде материјала од нерђајућег челика, око 200 г гаса може се апсорбовати по тони.Након обраде нерђајућег челика, не само да је његова површина лепљива од разних загађивача, већ је и у металној решетки апсорбовала одређену количину гаса.Када постоји проток ваздуха кроз цевовод, метал апсорбује овај део гаса поново ће ући у проток ваздуха, загађујући чисти гас.Када је проток ваздуха у цеви дисконтинуални ток, цев адсорбује гас под притиском, а када проток ваздуха престане да пролази, гас који адсорбује цев формира пад притиска да би се разрешио, а растворени гас такође улази у чисти гас у цеви као нечистоће.Истовремено, адсорпција и резолуција се понављају, тако да метал на унутрашњој површини цеви такође производи одређену количину праха, а ове честице металне прашине такође загађују чисти гас унутар цеви.Ова карактеристика цеви је неопходна да би се обезбедила чистоћа транспортованог гаса, што захтева не само веома високу глаткоћу унутрашње површине цеви, већ и високу отпорност на хабање.

Када се користи гас са јаким корозивним перформансама, за цеви се морају користити цеви од нерђајућег челика отпорне на корозију.У супротном, цев ће произвести мрље од корозије на унутрашњој површини услед корозије, ау озбиљним случајевима ће постојати велика површина металног одвајања или чак перфорације, што ће контаминирати чисти гас који се дистрибуира.

Повезивање транспортних и дистрибутивних гасовода високе чистоће и високе чистоће великих протока.

У принципу, сви су заварени, а цеви које се користе морају да немају промене у организацији када се примењује заваривање.Материјали са превисоким садржајем угљеника подлежу ваздушној пропустљивости заварених делова при заваривању, што доводи до међусобног продирања гасова унутар и ван цеви и уништава чистоћу, сувоћу и чистоћу пренетог гаса, што доводи до губитка све наше напоре.

Укратко, за гасовод високе чистоће и специјални гасовод за пренос гаса, потребно је користити посебан третман цеви од нерђајућег челика високе чистоће, да се направи систем цевовода високе чистоће (укључујући цеви, фитинге, вентиле, ВМБ, ВМП) у Дистрибуција гаса високе чистоће заузима виталну мисију.

Општи концепт чисте технологије за преносне и дистрибутивне цевоводе

Веома чист и чист пренос гаса са цевоводом значи да постоје одређени захтеви или контроле за три аспекта гаса који се транспортује.

Чистоћа гаса: Садржај атмосфере нечистоће у гГас чистоћа: Садржај атмосфере нечистоће у гасу, обично изражен као проценат чистоће гаса, као што је 99,9999%, такође изражен као запремински однос садржаја нечистоће у атмосфери ппм, ппб, ппт.

Сувоћа: количина влаге у траговима у гасу, или количина која се назива влажност, обично се изражава у смислу тачке росе, као што је тачка росе при атмосферском притиску -70.Ц.

Чистоћа: број честица загађивача садржаних у гасу, величина честица од µм, колико честица/М3 да се изрази, за компримовани ваздух, обично се такође изражава у смислу колико мг/м3 неизбежних чврстих остатака, који покривају садржај уља .

Класификација величине загађивача: честице загађивача, углавном се односе на чишћење цевовода, хабање, корозију коју стварају честице метала, честице атмосферске чађи, као и микроорганизми, фаги и капљице кондензације гаса које садрже влагу, итд., према величини његове величине је подељен на

а) Велике честице – величина честица изнад 5μм

б) Честица – пречник материјала између 0,1μм-5μм

ц) Ултра-микро честице – величина честица мања од 0,1 μм.

Да би се побољшала примена ове технологије, да би се могло перцептивно разумети величину честица и јединице μм, обезбеђен је скуп специфичних статуса честица за референцу

Следи поређење специфичних честица