Како тржиште полуводича расте, стандарди за чистоћу и тачност постају строжији. Један од одређивања фактора у квалитету производње полуводича је гасови који се користе у процесу. Ови гасови играју многе улоге у процесу производње, укључујући:
Прецизна контрола процеса
Превенција загађења
Појачање металуршке имовине
Да би ефикасно обављали ове улоге, систем снабдевања гасом и дистрибуцијом мора бити ефикасан. Дизајн система за руковање гасом који се користе у производњи полуводича морају да буду подржане робусним компонентама и прилагођеним скупштинама како би се осигурала поуздана и квалитетна производња полуводича.
Гасови који се користе у производњи полуводича
Процес производње полуводича захтева употребу различитих гасова у различитим фазама процеса.
Иако се уобичајени гасови попут азота, водоника, возоника, аргона и хелијума могу користити у њиховом чистом облику, одређени процеси могу бити потребне специјализоване смеше. Силани или силоксани, хексафлуориди, халогениде и угљоводонике су неколико специјалних гасова који се користе у производњи полуводича. Многи од ових гасова могу бити опасни или веома реактивни, стварајући изазове у избору и дизајну компоненти за гасне системе.
Ево неколико примера:
\ Водоник и хелијум могу лако процурити из цевовода и постављање система због своје мале атомске величине и тежине.
\ Силани су високо запаљиве и могу се спонтано убрати (аутоинит) у ваздуху.
\ Азотни дифлуорид који се користи у таложишту, етонирању и фазама за чишћење коморе постаје снажан гас са ефектом стаклене баште када се процури у околину.
\ ХИДРОГЕН Флуорид (Етонинг гас) је високо корозивно на метално цевоводе.
\ ТримеТхилгаллиум и амонијак може бити тешко поднијети мале флуктуације у њиховим захтевима температуре и притиска могу утицати на поступак таложења.
Контролирање услова процеса за минимизирање негативних ефеката ових гасова мора бити главни приоритет током дизајна система. Једнако је важно користити највише квалитетне компоненте као што су АФК дијафрагмски вентили током процеса изградње.
Изазови за дизајн система система
Гасови полуводича су у већини случајева високе чистоће и пружају инертне услове или побољшавају реакције у различитим фазама производног процеса, као што су етцх и таложени гасови. Цурење или контаминација таквих гасова могу имати негативне ефекте. Због тога је критично да се системски компоненте некада некада некада садрже и отпорне на корозију, као и глатка површинска завршна обрада (електролитички полирање) да би се осигурало да не постоји могућност контаминације и да се може одржати изузетно висок ниво чистоће.
Поред тога, неки од ових гасова могу се загрејати или охладити да постигну жељене услове процеса. Добро изоловане компоненте осигуравају контролу температуре, која је критична за ефикасно перформансе коначног производа.
Из улаза извора до тачке употребе, широк спектар компонената АФК-а подржава ултра-високу чистоћу, температуру, контролу притиска и протока потребне у полуводичким чиститим собама и вакуумским коморама.
Дизајнирани системи са квалитетним компонентама у полуводичкој фабрици
Улога квалитетних компоненти и оптимизације дизајна је пресудна за прецизну контролу и сигурну производњу полуводича. Компоненте коришћене морају бити робусне и пропуштајуће да одговарају различитим условима процеса потребне у различитим фазама производње.АФК-ових висококвалитетних вентила, фитинга, регулатора, цевоводи и заптивача карактеришу следеће карактеристике:
Ултра-висока чистоћа
Бртве без цурења
Изолација под контролом температуре
Контрола притиска
Отпорност на корозију
Третман за полирање електролита
Вријеме поште: 10. октобар