Ултра-високи гасови чистоћа су од суштинског значаја у ланцу полуводича. У ствари, за типичне Фаб, гасови високих чистоћи су највећи материјални трошак након самог силикона. Након недостатка глобалног чипа, индустрија се шири брже него икад - и потражња за високим чистоћим гасовима расте.
Најчешће коришћени скупни гасови у полуводичкој производњи су азот, хелијум, водоник и аргон.
Nтороген
Азот чини 78% наше атмосфере и изузетно је обилно. Такође се дешава да је хемијски инертна и не-проводљива. Као резултат тога, азот је пронашао свој пут у бројне индустрије као економичан инертни гас.
Индустрија полуводича је главни потрошач азота. Очекује се да ће модерна полуводичка фабрика производње користити до 50.000 кубних метара азота на сат. У производњи полуводича, азотни акти делује као инерција опште намене и прочишћавање гаса, штитећи осетљиве силицијумске вафла од реактивног кисеоника и влаге у ваздуху.
Хелијум
Хелијум је инертни гас. То значи да је, попут азота хелијум хемијски инертна - али такође има додатну предност високе топлотне проводљивости. Ово је посебно корисно у производњи полуводича, омогућавајући му да ефикасно спроведе топлоту од високоенергетских процеса и помаже у заштити од топлотних оштећења и нежељених хемијских реакција.
Водоник
Водоник се интензивно користи током процеса производње електронике, а производња полуводича није изузетак. Конкретно, водоник се користи за:
Жнелирање: Силиконски вафери се обично загревају на високе температуре и полако се охладе да поправљају (аннеал) кристалну структуру. Водоник се користи за равномерно пренос топлоте и да помогне у обнови кристалне структуре.
Епитакти: Ултра-висока чистоћа водоник користи се као редукцијски агент у епитаксијачком таложишту полуводичких материјала као што је силицијум и германијум.
Таложење: водоник се може допити у силицијумске филмове како би се њихова атомска структура постала нечистоћа, помажући да се повећа отпорност.
Чишћење плазме: водоник плазми је посебно ефикасан у уклањању контаминације лимења из извора светлости који се користе у УВ литографији.
Аргон
АРГОН је још један племенит гас, па показује исту ниску реактивност као азот и хелијум. Међутим, аргонова ниска јонизациона енергија чини је корисним у апликацијама полуводича. Због своје релативне лакоће јонизације, аргон се обично користи као примарни плазми гас за реакције етцх-а и таложења у производњи полуводича. Поред овога, Аргон се такође користи у Екимеру ласерима за УВ литографију.
Зашто је чистоћа битна
Типично је напредак у полуводичкој технологији постигнут кроз скалирање величине, а нову генерацију полуводичке технологије карактеришу мања величина карактеристика. Овај приноси више предности: више транзистора у одређеној јачини, побољшане струје, нижи потрошњу енергије и брже пребацивање.
Међутим, како се критична величина смањује, полуводички уређаји постају све софистициранији. У свету где су положај појединих атома, прагови толеранције на грешке веома чврсти. Као резултат тога, модерни поступци полуводича захтевају процесне гасове са највећом могућу чистоћу.
WOFLY is a high-tech enterprise specializing in gas application system engineering: electronic special gas system, laboratory gas circuit system, industrial centralized gas supply system, bulk gas (liquid) system, high purity gas and special process gas secondary piping system, chemical delivery system, pure water system to provide a full set of engineering and technical services and ancillary products from the technical consulting, overall planning, system design, selecting the equipment, prefabricated components, the installation and construction of the project Сајт, укупни систем за испитивање, одржавање и друге пратеће производе на интегрисани начин.
Вријеме поште: ЈУЛ-11-2023