Употреба гасова у полуводичкој индустрији датира из почетка 1950-их до 1960-их. Током процеса производње полуводича, гасови се углавном користе за чишћење и заштиту полуводичких материјала како би се осигурала њихова чистоћа и квалитета. Међу најчешће коришћени гасови су азот и водоник.
Како се развијени и производни процеси полуводича и производни процеси наставили су да се побољшају, потражња за гасовима је порасла. 1970. године даљњи развој технологије производње полуводича, примјена гасова у кључним процесима као што су јекљење и таложење танких филмова постепено повећано, а флуоридни гасови (нпр. СФ6) и кисеоник постали су уобичајено једење и кисело. 1980. године даљње повећање потражње за гасовима са развојем интегрисаних кругова и повећањем потражње за њима. Водоник се широко користио у процесу производње, укључујући одлагање водоника и таложењу паре водоника. А од 1990. године до данас, потражња за гасовима високих чистоћи и специфичних гасова повећала се јер су величине уређаја за полуводичу наставили да се смањују и уведени су нови процеси. На пример, примена екстремне ултраљубичастограпске литографије (ЕУВ) захтева употребу изузетно високих гасова високих чистоћих, као што су азот и водоник.
Посемински гас наставља да се повећава са развојем сродних производа који су покренули све више и више производа, док се гас такође припада извору опасности, тако да су производи који се користе за декомпресију гаса и производе за откривање гаса и регулатори, гаграчи, гас, и њихове улоге, и њихове улоге, и њихове улоге, и њихове улоге су слиједи:
Регулатори притиска: Регулатори притиска су уређаји који се користе за контролу притиска гаса. Обично се састоје од регулаторног вентила и сензора притиска. Регулатори притиска Узмите унос под високим притиском и стабилизовати притисак излазног гаса прилагођавањем вентила како би се задовољили одређени захтеви за пријаву. Регулатори притиска се широко користе у областима као што су индустрија, производња и лабораторије, као и у полуводичкој индустрији, између осталог, како би се осигурала стабилност и сигурност снабдевања гасом.
Гасни вентили: гасни вентили се користе за контролу протока гасова и да би се затворили одломци гаса. Обично имају функцију укључивања / искључивања која се отвара или затвара проток гаса. Постоје разне врсте гасних вентила, укључујући ручне вентиле, електричне вентиле и пнеуматске вентиле. Широко се користе у гасним системима за контролу протока, притиска и протока гасова.
Мјерила за притисак гаса: Мерачи за притисак гаса користе се за мерење нивоа притиска гаса. Обично се инсталирају на критичним локацијама у гас системима за праћење промена притиска и осигуравају да су у сигурним границама. Мјерачима гаса се широко користи у индустрији, производњи и лабораторијама, а такође је укључена индустрија полуводича.
Детектори за пропуштање гаса: Детектори за пропуштање гаса користе се за откривање цурења у гасним системима. ОткривајуПрисуство цурења гаса и звучи аларм тако да се може предузети правовремене акције да се спречи несреће цурења. Детектори за пропуштање гаса широко се користе у индустријским, хемијским, нафти и гасним апликацијама, а и полуводичка индустрија је такође била укључена.
Вријеме поште: феб-20-2024