Tail gas treatment equipment can handle gases used in etching processes and chemical vapor deposition processes in the semiconductor, liquid crystal, and solar energy industries, including SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, and so on.
Метода пречишћавања гаса
Према карактеристикама пречишћавања издувних гасова, третман се може поделити у четири врсте третмана:
1. Врста прања воде (лечење корозивних гасова)
2 тип оксидације (бављење запаљивим и токсичним гасовима)
3. Адсорпција (према врсти адсорпционог материјала да се бави одговарајућим издувним гасом).
4.Пласма типа за сагоревање (све врсте издувних гасова могу се третирати).
Свака врста лечења има своје предности и недостатке као и свој обим примене. Када је метода лечења прање воде, опрема је јефтина и једноставна и може да поднесе само растворљиве гасове; Асортиман наношења електричног типа прања воде је већа од врсте воде за прање воде, али трошкови рада је висок; Суви тип има добру ефикасност за лечење и није применљиво на проток гаса који је лако зачепити или тећи.
Хемикалије и њихови нуспроизводи који се обично користе у полуводичкој индустрији могу се категорисати према њиховим хемијским својствима и њиховим различитим распонима:
1. Запаљиви гасови као што су СИХ4Х2 итд.
2 Токсични гасови као што су АСХ3, ПХ3 итд.
3. Корозивни гасови као што су ХФ, ХЦл итд.
4. Стакленички гасови као што су ЦФ4, НФ3 итд.
Пошто су изнад четири гаса штетни за животну средину или људско тело, морају да спрече своју директну емисију у атмосферу, тако да је општа постројење за полуводиче уграђене са великим централизованим системом пречишћавања гасова, али овај систем је само уводљива гасова у води и не може да се бави заносним гасовима на дуже редакцију и не може се бавити и топлошним иптилним иптилним подешавањем гасова и не може се бавити и немиран и суптилно поделити и не може да се бави истрошеним иптилним иптилним подјелом. Стога је потребно да се одабере и подударају са одговарајућом опремом за пречишћавање гасова у складу са карактеристикама гаса који потичу из сваког процеса како би се решио проблем издувног гаса на мали начин. Како је радна површина углавном далеко од централног система за пречишћавање издувних гасова, често због карактеристика гаса у току кристализације или акумулације прашине, што је резултирало зачепљење цевовода који води до цурења гаса, чак и у озбиљним случајевима, чак и у озбиљности, чак и у озбиљности, чак и у озбиљности, чак и у озбиљности, чак и у озбиљним случајевима, чак и у озбиљним случајевима, чак и у озбиљним случајевима, чак и у озбиљним случајевима, чак и у озбиљним случајевима, а у озбиљним случајевима не може осигурати да се радна сигурност особља сајта не може да обезбеди сигурност особља на месту. Стога у радном подручју треба да конфигуришете малу опрему за пречишћавање гаса погодне за карактеристике процеса гаса, како би се смањила стагнантни издувни гас у радном подручју, како би се осигурала сигурност особља.
Вријеме поште: август-10-2023